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    德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

    更新時間:2024-05-16

    訪問量:1456

    廠商性質:代理商

    生產地址:

    簡要描述:
    德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術,掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
    品牌其他品牌價格區(qū)間面議
    產地類別進口產品種類電動
    應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合

    德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL


    應用領域:

    掃描顯微鏡

    超分辨率顯微鏡

    生物技術

    掩模/晶圓定位

    樣本定位

    干涉測量

    計量


    產品參數(shù):

    型號:P-541.ZSL

    主動軸:Z

    集成傳感器:應變片傳感器

    -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

    θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度

    Z向上的閉環(huán)行程:100微米

    θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:-毫弧度

    Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

    θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度

    Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

    θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

    Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

    Z向上的重復精度:<10納米

    θX、θY向上的重復精度:–微弧度

    θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


    產品參數(shù):

    型號:P-541.TSL

    主動軸:Z,θX,θY

    集成傳感器:應變片傳感器

    -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

    θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

    Z向上的閉環(huán)行程:100微米

    θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

    Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

    θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度

    Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

    θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.25微弧度

    Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

    Z向上的重復精度:<10納米

    θX、θY向上的重復精度:0.05微弧度

    θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


    德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL

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