德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD

德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角：0.5微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜：0.2微弧度

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-363.3CD

主動(dòng)軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-250至+250伏時(shí)X、Y向上的開(kāi)環(huán)行程：±3微米

-250至+250伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程：±2.7微米

X、Y向上的閉環(huán)行程：±2.5微米

Z向上的閉環(huán)行程：±2.5微米

分辨率，開(kāi)環(huán)：0.03納米

分辨率，閉環(huán)：0.1納米

線性誤差：0.05%

重復(fù)精度：1納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角：0.5微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜：0.2微弧度

X、Y向上的直線度：3納米

X、Y向上的平面度：<10納米

X、Y向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：5納米

X、Y向上的空載諧振頻率：3.1千赫茲

Z向上的空載諧振頻率：9.8千赫茲

帶負(fù)載時(shí)X、Y向上的諧振頻率：1.5(20克)千赫茲

負(fù)載容量：10牛

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD